Grafitel
Теплоизоляционная камера печи ALD

Теплоизоляционная камера печи ALD

Печь ALD предназначена для высокотемпературной термической обработки металлов, сплавов и керамических материалов в контролируемой атмосфере глубокого вакуума.

Состав теплоизоляционной камеры:

  • теплоизоляционные материалы марки УВТМ-ВТО
  • защитные экраны изготовленные из материала марки УУКМ

Характеристики

ПараметрЗначение
Плотность
ТУ 1916-023-54755093-2010
0,18-0,23 г/м³
Прочность
ТУ 1916-023-54755093-2010
0,30 МПа
Максимальная температура эксплуатации
ТУ 1916-023-54755093-2010
2800 °C
Коэффициент теплопроводности
ТУ 1916-023-54755093-2010
При комнатной температуре не более 0,20 Вт/м*К; при 1300 °C не более 0,32 Вт/м*К; при 2000 °C не более 0,80 Вт/м*К; при 2800 °C не более 1,27 Вт/м*К
Плотность
ТУ 1916-022-54755093-2009
1,25-1,42 г/м³
Прочность
ТУ 1916-022-54755093-2009
55 МПа
Максимальная температура эксплуатации
ТУ 1916-022-54755093-2009
2500 °C
Максимальные размеры заготовки
ТУ 1916-022-54755093-2009
1170×970×20* мм